產品名稱：程控晶圓加熱板
產品型號：Torrey Pines
更新時間：2025-05-14
產品報價：
產品特點：應用領域：清潔硅晶圓干燥硅晶圓蝕刻硅晶圓熱測試電路熱測試環氧樹脂焊接表面貼裝PCBPCB的生命周期測試測試液晶顯示器
Torrey Pines 程控晶圓加熱板是一種可編程的數字電熱板，專為烘烤晶圓硅片而設計。 在手動操作模式中，只需設置一個目標溫度，設備就會達到并保持該精確溫度在±1°C之內。 在編程模式下，程序可以存儲在內存中，以便即時調用和使用。 存儲的程序將一次又一次*相同地自動運行。
根據需要，程序可以是簡單的也可以是復雜的。 可以存儲多個溫度，溫度上升速率（如果需要）和停留時間。 這些程序可以編寫并存儲在本機隨附的分離式控制器中，或者當用戶在后部的RS-232 I / O端口連接PC上來編寫程序并通過PC運行該程序時，程序可以根據需要盡可能的簡單或復雜。
特征
1.直徑為354.24毫米（13.875英寸）的加熱表面
2.研磨的平板鋁非常適合12英寸（304.8毫米）或更小的硅晶片
3.可通過RS232 I / O端口或通過控制器從PC或工業控制器進行遠程控制
4.可使用隨附的分離式控制器對加熱板進行控制和編程
5.溫度范圍從室溫到350°C
6.可讀且可設置為1°C
7.精度為設定值的1％
8.從加熱板表面中間到側面0.75 in范圍內的溫度均勻度優于1％
9.溫度穩定性±1°C
10.校準至0.1°C以確保準確性
11.控制器可存儲5個單獨的程序，每個程序多可存儲10個步驟，以進行各種手動操作，可重復的樣品運行
12.程序可自動重復1到99次，如果需要，可以無限次重復
13.變溫可以1°C /小時的基數增量從1°C到450°C上升或下降
14.1500 W加熱器功率
15.機箱底部的*溫度指示照明環。顏色從藍色（無目標溫度）變為黃色（加熱至50°C以下）至紅色（加熱至50°C以上）。指示燈將閃爍，直到溫度穩定在±0.2°C之內
16.內置倒數計時器，帶有聲音警報和可設置的自動關閉
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